연구개발 방향
R&D direction
반도체 장비분야 연구
01
제품 Productivity & Quality 향상 기술
- Up-time yield & Throughput 극대화
- In-line Process Monitoring 시스템
- 고정밀제어 시스템
- Process Yield 향상
02
Pull Automation
Pull Automation
& Safety Environment
- 무인운전시스템
- 공정모니터링 & 원격제어시스템
- 예지보전 및 안전사양 표준화 시스템
- 설비와 연동 운영이 가능한 AGV 시스템
R&D direction
차세대 사업분야 연구
고순도 SiC Powder 제조기술 연구
- Carbothermal reduction 방법을 이용한 고순도 SiC 분말 제조(LG 이노텍 기술 이전, 2021년)
- 저원가 & 고품질 기반의 "SiO2 + C source" 합성 기술 개발
- SiC 단결정 성장로를 통한 SiC Powder vs. SiC 결정의 연계 품질 연구
- 양산형 Turn-key 라인 개발 (혼합 - 합성 - 입성장 - 분급)
제품 사양
Typical Chemical Analysis
| Element | Unit | Spec. | Real Value |
|---|---|---|---|
| AI | ppm | ＜1 | 0.36 |
| B | ＜1 | 0.66 | |
| Ca | ＜1 | 0.53 | |
| Co | ＜0.2 | ＜0.01 | |
| Cr | ＜0.2 | 0.15 | |
| Fe | ＜0.2 | ＜0.05 | |
| Mg | ＜0.2 | ＜0.05 | |
| Na | ＜0.2 | 0.05 | |
| Ni | ＜0.2 | ＜0.01 | |
| Ti | ＜1 | 0.88 | |
| W | ＜0.2 | ＜0.05 | |
| V | ＜0.5 | 0.37 |
Other Properties
| Characteristics | Unit | Spec. | Real Value |
|---|---|---|---|
| Particle size(D) | ㎛ | 230±30 | 232 |
| Span(D / D) | - | ＜4 | 2.6 |
| Tot. Nitrogen | ppm | ＞200 | 16 |
| Tot. Oxygen | ppm | ＞200 | 200 |
| Apparent Density | g/cm3 | ＞1.7 | 1.77 |
| Tapping Density | g/cm3 | ＞1.9 | 1.98 |
