보조시스템
Pre - Stacking Moving Cart (Cover & Cap)
Pre - Stacking Moving Cart(Cover & Cap)
- 해당 cover는 pre-stacking 공정이 완료되었을 시 quartz crucible의 상부를 덮을때 사용된다.
3D Removal Jig & Cart
3D Removal Jig & Cart
- 가열된 quartz crucible를 들어올리기 위해 3D removal jig를 사용한다.
- 그림에 있는 cart는 3D jig를 보관하고 편리하게 이동시키기 위해 제작이 되었다.
Heater Jig
Heater Jig
- 해당 jig는 조립 및 분해 시 heater를 위 아래로 들어올리기 위해 제작된 도구이다.
- 아울러 heater jig는 여러 각도로 접을 수 있기 때문에 다양한 종류의 heater를 들어올릴 수 있다.
Reflector Keeping Cart
Reflector Keeping Cart
- Run이 완료된 후, reflector를 보관하기 위한 cart이다. Reflector가 카트에 닿는 부분은 Teflon으로 구성되어 있다.
Ingot Keeping Cart - Type 1
Ingot Keeping Cart
- 가열된 잉곳을 실온 상태로 cooling 될 때까지 해당 카트에 보관된다.
- V자 모양의 홈은 잉곳을 고정시킬 수 있도록 설계되었다. (Teflon이 부착되었다.)
Ingot Keeping Cart – Type 2
Ingot Keeping Cart
- 가열된 잉곳이 실온 상태로 cooling 될 때까지 해당 카트에 보관된다.
- V자 모양의 홈은 잉곳을 고정시킬 수 있도록 설계되었다 (Teflon이 부착되었다.)
Hot Zone Removal Cart
Hot Zone Removal Cart
- 가열된 hot zone은 해당 cart에 안착되어 클리닝 작업이 진행된다.
- 해당 cart는 2개의 층으로 구성되어 있다.
- Hot zone 및 금속과의 접촉을 피하기 위해 cart는 graphite로 구성되었다.
Hot Zone Removal Cart - 1st floor type (deck)
Hot Zone Removal Cart - 1st floor type
- 가열된 hot zone은 해당 cart에 안착되어 클리닝 작업이 진행된다.
- Hot zone 및 금속과의 접촉을 피하기 위해 cart는 graphit로 구성되었다.
Hot Zone Cleaning Hood
Hot Zone Cleaning Hood
- 해당 장비는 작업자가 hot zone의 cleaning을 원활하게 할 수 있도록 설계되었다.
- Hot zone은 cleaning 준비를 위해 해당 장비에 안착 되며 장비 상부에 설치된 vacuum은 hot zone의 이물질을 빨아들인다.
- Hot zone 및 금속과의 접촉을 피하기 위해 hot zone이 안착 되는 부분은 graphite로 구성되었다.
Ingot Removal Cart
Ingot Removal Cart
- 해당 cart는 완전히 성장된 ingot을 안착 및 이동시키기 위해 설계 되었다.
- 해당 cart는 tilting 기능이 탑재되어 90도 회전이 가능하도록 설계되어 있다.
Dumping Cart
Dumping Cart
- 해당 cart는 dumping 공정에 최적화될 수 있도록 설계되었으며 dumping tube를 안전하게 안착시킬 수 있다.
- 자동 tilting 기능이 탑재되어 있다.
