고품질 반도체 웨이퍼용 고정밀 단결정 실리콘 성장로

반도체용 고품질 단결정 실리콘 잉곳 성장로 개발 및 연구 고품질의 반도체용 단결정 실리콘 잉곳을 성장하는 그로워 장비 개발 연구를 수행하고 있습니다. 내부 Hot-zone의 구조 개선, 불순물, Micro defect 최소화 등 고품질의 잉곳을 성장시키는 기술을 습득하고자 힘쓰고 있으며, 고정밀 제어 시스템, 높은 신뢰성, 최적화된 공정 자동화 시스템 개발을 통해 고객의 만족도를 향상시키는 목표로 연구를 수행하고 있습니다.

450mm 이상 대구경
Si parts 제조용 성장로

반도체용 parts 제조용 단결정 실리콘 대구경 잉곳 성장로 개발 및 연구
32인치이상의 반도체 Wafer 및 Si 치공구류용 단결정 실리콘 잉곳을 성장하는 그로워 장비 개발 연구를 수행하고 있습니다. 고품질의 대구경 잉곳 성장기술을 습득하고자 힘쓰고 있으며, 고생산성과 안정화를 바탕으로 잉곳의 수율 향상을 위한 대구경용 구조적 개선, 고정밀 제어 시스템, 높은 신뢰성, 최적화된 공정 자동화 시스템 개발을 통해 고객의 만족도를 향상시키는 목표로 연구를 수행하고 있습니다.

4, 6, 8인치 SiC 단결정 성장용 PVT

차세대 화합물 반도체용 결정성장 장비 개발
차세대 화합물 반도체 Wide Band Gap(WBG) 소재용 결정성장로 개발을 통한 글로벌 Value Chain 확보를 위한 장비개발을 수행하고 있습니다. 대면적(8인치) 기반의 SiC 단결정 성장로 개발, 기계장치 및 운영시스템 국산화 (PVT 기계장치, RF heater, 전장 제어 알고리즘), 고신뢰성 운전 시스템 확보, 결정성장 공정 중 SiC 단결정 성장 형상 모니터링 시스템 구성 등을 통해 고객으로부터 높은 신뢰도와 만족도 향상을 위한 목표로 연구를 수행하고 있습니다.

고생산성 PV용 1 ton Charge용 Si 단결정 성장로

Single crystal Silicon Wafer for Solar cell
태양광용 단결정 실리콘 대구경 잉곳 성장로 개발 연구
40인치이상의 태양광용 단결정 실리콘 잉곳을 성장하는 그로워 장비 개발 연구를 수행하고 있습니다. 생산성 향상을 위한 구조적 개선 및 고정밀 제어 시스템, 높은 신뢰성, 최적화된 공정 자동화 시스템 개발을 통해 고객의 만족도를 향상시키는 목표로 연구를 수행하고 있습니다.

태양광 모듈 Recycle용 Backsheet 자동 제거 장치

태양광 모듈 백시트 제거 장치는 태양광 폐모듈의 백시트를 제거하고 제거 중 발생하는 제거물을 포집하는 장치이며, 정밀 자동제어 시스템을 구축하기위한 개선 연구를 지속적으로 수행하고 있습니다. 본 장치는 로딩/언로딩부, 백시트 제거용 컨베이어, 백시트 제거부 자동제어 시스템, 백시트 제거물의 친환경적 포집 시스템으로 고객들의 만족도를 높이기 위한 신뢰성 높은 장치를 개발하고자 연구를 수행하고 있습니다.

Direct 웨이퍼용 CVD 장비

Direct Single crystal Silicon Wafer for Solar cell 연구개발
플라즈마 공정기반 에피탁시 실리콘 웨이퍼 증착 장비 및 공정기술개발
CVD를 이용한 저온에서 에피탁시 성장공정을 활용한 태양광용 단결정실리콘 웨이퍼 증착 기술개발을 위한 연구를 수행하고 있습니다.
플라즈마 에피탁시 공정반응기 최적설계, 분리층-계면분리-에피성장 연속공정 개발, 공극률 조절을 통한 Nano-Gap 형성 메커니즘 연구, 고품질 에피탁시 고속성장 및 벌크품질향상 등의 목표로 연구개발을 수행하고 있습니다.